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时间:2026/4/2
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雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台,摆动式双向重复检测结果显示,X轴双向重复精度43 nm,Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研,为客户定制整套解决方案。
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