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雅科贝思超高晶圆陶瓷气浮平台

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时间：2025/1/8

点击：2475            

评分：10 分 6 7 8 9 10

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问卷调查
标签 雅科贝思
视频介绍 时间：2025/1/8

X、Y轴行程分别可达600、550毫米，整体采用全气浮高刚性结构，气浮式导轨几乎可以忽略摩擦力的影响，实现近于零摩擦的润滑，故能实现超精密定位。

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