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维萨拉半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

在半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。


然而,在实际应用中,企业仍然面临诸多挑战:气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身,都可能让露点测量变得“不再可靠”。


在超干燥环境下,露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如,在-80°C露点条件下,气体中的水分含量仅为约0.5ppmv,相比普通办公室空气,干燥程度高出数万倍。


在这样的环境中:测量误差不再只是“数值偏差”,而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中,若露点控制不当,测试腔体极易产生结霜,进而影响测试准确性与设备稳定性。


会议议程

极端干燥条件下露点测量的核心原理

半导体气体系统中的典型挑战

晶圆测试中的露点控制关键点

如何通过优化测量方式提升数据可靠性

快速响应技术在实际应用中的价值


  1. 2026/4/28
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维萨拉 压缩空气中的露点测量

在工业生产中,压缩空气被广泛应用于各类关键环节,从自动化控制到产品制造,它几乎无处不在。然而,一个常被忽视的问题是:空气中的水分,往往是影响系统稳定性与产品质量的隐形风险。


当压缩空气中的湿度控制不到位时,问题可能迅速显现——管道腐蚀、设备结冰、过滤器性能下降,甚至导致产品污染与质量缺陷。在一些对环境要求更高的行业,如电子、制药或食品领域,这些风险更是不可接受。


那么,如何真正掌控压缩空气中的湿度?答案在于一个关键指标:露点。


在本次研讨会中,维萨拉专家将结合实际应用经验,系统讲解压缩空气中露点测量的关键原理与实践方法,帮助您从“理解问题”走向“解决问题”。

演讲人:卢金章-维萨拉工业测量部应用经理

会议议程

基础理论——掌握压缩空气中湿度与露点的核心概念,以及它们为何至关重要。

风险与收益——了解缺乏露点监测所带来的常见问题,以及实现受控干燥所带来的优势。

解决方案与技术——介绍可用的测量仪器、采样注意事项,以及如何选择合适的测量方案。

应用与案例——来自不同行业与系统类型的实际应用示例。

公司简介

维萨拉提供测量仪器和智能化应用,我们是应对气候变化的积极探索者和行动者。我们提供可靠的测量设备和数据,助力客户提高资源利用效率,并推动能源转型,同时也致力于保障大众的安全以及提升社会福祉,让世界变得更美好。我们拥有近 90 年创新和专业知识的深厚积淀,更拥有一支超过 2,300 名专业人员组成的精英团队,我们尽心竭力保护地球家园。维萨拉 A 股股票在纳斯达克赫尔辛基证券交易所上市。


  1. 2026/4/14
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ABB机器人小件拣选解决方案

介绍ABB小件拣选家族,机器人单件分离供包解决方案,旨在解决邮递、服饰、电商、电子和制药等行业中高速、高精度物品拣选的现实挑战。

演讲人


李玥

ABB机器人中国区副总裁


ABB机器人业务部中国区工业业务单元负责人




张娟

ABB机器人中国区通用工业和消费品事业部销售总监




赵玉昊

ABB机器人消费品行业方案经理




邵君毅

ABB机器人消费品行业物流销售经理



会议议程

趋势与技术挑战

ABB小件拣选家族介绍

工作原理:技术解析

Demo演示

应用价值

合作方式

互动问答

在线抽奖



ABB是全球领先的机器人供应商之一,专注于提供机器人和机械自动化解决方案等全套产品组合,通过ABB自主软件设计与集成,为客户创造更高价值。

  1. 2026/1/16
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DEUZE 德尔兹 PDH30系列高性能背景抑制光电传感器

运用P.S.D原理,稳定检测不易受颜色变化影响,具有出色的角度特性,出色的耐尘及耐污性,检测距离20-200mm,有电缆式和接插式可选。

  1. 2025/10/28
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维萨拉 折光仪在石油化工过程控制中的应用

在石油与天然气炼制以及石化行业,工艺流程复杂、介质多样、条件苛刻。 面对高温、高压、腐蚀性强、气泡/固体颗粒复杂的生产环境,您是否也在思考:  如何精准监测加氢反应中的芳烃含量?  如何实时识别炼厂与管道中的液体界面?  面对频繁的过程波动,如何稳定获取关键参数数据?  维萨拉最新一代 Polaris™ 在线折光仪,提供连续、实时的折射率、液体浓度与密度测量,帮助您消除人工取样带来的滞后风险,实现过程透明化、决策智能化。我们诚邀您参加本场技术在线研讨会,一起探索折光技术如何赋能石化行业的过程优化与质量控制。  会议议程 • 折光仪工作原理与“临界角测量 + 光学图像”双重技术优势  • 典型石化应用解析:硫酸浓度监测、天然气脱水胺液控制、多产品界面识别等  • Polaris 系列产品型号选型指南(PR53GC、PR53GP、PR53M、PR53W 等)  • 如何利用 Indigo520 实现远程诊断、趋势分析与棱镜清洗控制

  1. 2025/7/16
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烟气分析与红外成像技术:助力高耗能行业节能减排与安全运行

Emission 部分主题: 烟气分析仪助力工业废气排放精确监测&温室气体监测


德图仪器简介


工业烟气测量目的


工业烟气测量工况介绍


基于不同复杂工况下的烟气测量产品的设计思路和解决方案


碳排放监测产品和原理介绍


德图排放产品线简介


TI 部分主题:红外热像仪在高耗能及高校中的应用


红外原理


红外热像仪在高耗能行业中的典型应用


红外热像仪在高校科研中的典型应用


如何选择一款合适的红外热像仪


德图热像仪介绍

演讲人


武锐

德图仪器资深产品应用专家


资深应用专家,具有丰富的烟气测量经验。任职德图超过10年,熟悉环监测量标准和技术,多次参与总站牵头的标准建设现场的测量任务。




韩贵明

德图仪器红外产品线产品经理


他负责从市场调研到产品上市的全流程管理,包括需求分析、测试和市场推广等方面。凭借深厚的技术背景和丰富的行业经验,致力于优化红外热像仪的性能和用户体验,推动了多个创新项目的成功推出。注重与客户的沟通,积极反馈市场需求,确保产品在竞争激烈的市场中保持领先地位。

公司简介

德图仪器,总部位于德国南部的黑森林,是高精度测量技术和创新测量解决方案的提供者。目前德图在全球拥有34家子公司、约3800名员工致力于产品研发、生产和营销。德图产品、解决方案和服务帮助您节省时间和资源、保护环境和人类健康以及提高您的产品质量。


自1957年成立以来,德图集团每年以高于10%的速度保持增长,当前年销售额已过2.5亿欧元,它是黑森林的智慧运作与高科技体系的完美结晶。高于平均水平的投资为公司的可持续发展铺平了道路,德图集团坚持将每年销售额的10%用于产品研发。


  1. 2024/11/28
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水/污水处理之雷达与超声波的对比

超声波为机械波容易受到温度、气体变化、湿度的影响,而VEGA雷达采用的是电磁波原理,测量不会受到环境的影响,并且拥有更好的聚焦性能和化学稳定性,雷达是更好的超声波!


  1. 2024/5/31
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维萨拉Polaris在线折光仪在生物制药行业的应用

药物由两部分构成:原料药 (API)(它们是治疗疾病的主要成分)和相应的化学非活性辅料(它们是将药物输送到人体或动物躯体的媒介)。制药研发和产品工程中一个关注的焦点就是探索新的原料药成分,以便开发创新性药物,并且在将来有可能开发个性化药物。

PAT 不仅涉及使用传统的过程控制传感器(例如压力、温度和 pH 传感器),还涉及使用新的在线分析器技术。一个新涌现的技术就是折射率,这是一种基于光折射原理的液体浓度直接测量方法。几十年来,折射率测量已被其他行业所采纳(例如,在制浆和造纸行业中,用于测量黑液的固含量;在制糖行业中,用于制糖时的糖度测量),但在 PAT 计划启动之际,在制药领域中这项技术仍有待开发利用。

本期在线研讨会将为您详细介绍维萨拉PolarisTM在线折光仪的测量原理以及优势特征,并让您深入了解液体浓度测量在生物制药行业的应用进展。

演讲人:田秋实

维萨拉液体浓度产品应用经理


  1. 2024/3/25
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如何在压缩空气系统中充分利用露点测量?

由于能源行业是重要且昂贵的公用事业,因此优化所有能源密集型流程是明智之举。使用气动系统通常比电力昂贵得多,特别是在可能造成能源浪费的情况下。对于压缩空气系统来说,可靠的露点测量是关键。除了节能之外,测量 CAS 中的露点还可以确保没有过多的湿气污染压缩空气。这是许多行业的重要要求,例如食品饮料行业、医药行业。

演讲人


周洪蓉

维萨拉工业测量部产品应用经理


如何在压缩空气系统中充分利用露点测量?


会议议程

>>为什么要测量露点?


>>维萨拉露点传感器的工作原理


>>相对湿度与露点,何时选择露点


>>维萨拉露点传感器特点


>>如何安装露点变送器


>>过程压力与环境压力


>>压缩空气采样


公司简介

维萨拉是气象、环境和工业测量领域的设备生产厂商。立足于超过 80 年的丰富经验,维萨拉致力于通过观测打造更加美好的世界,我们拥有的技术在实际的太空环境应用中亦能游刃有余,在火星乃至更遥远地点的探索任务中稳定运行。我们是客户的可靠合作伙伴,能够提供创新观测和测量产品及服务。维萨拉总部位于芬兰,在全球拥有约 2,000 名专业人员,公司在纳斯达克赫尔辛基证券交易所上市。


  1. 2023/12/13
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不止于快 更胜于“秒”——魏德米勒面向未来的SNAP IN 鼠笼式联接技术

不止于快 更胜于“秒”——魏德米勒面向未来的SNAP IN 鼠笼式联接技术!

SNAP IN 鼠笼式联接技术,拥有创新的“捕鼠原理”,可极为迅速地完成联接。借助于SNAP IN 联接技术,即使是不使用管状端头的软导线也可以免工具直接接线,能够易如反掌地完成安装和维护工作。


本次研讨会,魏德米勒技术专家将为大家全面解读这一全新联接技术。


  1. 2023/12/5
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