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维萨拉半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

在半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。


然而,在实际应用中,企业仍然面临诸多挑战:气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身,都可能让露点测量变得“不再可靠”。


在超干燥环境下,露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如,在-80°C露点条件下,气体中的水分含量仅为约0.5ppmv,相比普通办公室空气,干燥程度高出数万倍。


在这样的环境中:测量误差不再只是“数值偏差”,而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中,若露点控制不当,测试腔体极易产生结霜,进而影响测试准确性与设备稳定性。


会议议程

极端干燥条件下露点测量的核心原理

半导体气体系统中的典型挑战

晶圆测试中的露点控制关键点

如何通过优化测量方式提升数据可靠性

快速响应技术在实际应用中的价值


  1. 2026/4/28
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维萨拉 压缩空气中的露点测量

在工业生产中,压缩空气被广泛应用于各类关键环节,从自动化控制到产品制造,它几乎无处不在。然而,一个常被忽视的问题是:空气中的水分,往往是影响系统稳定性与产品质量的隐形风险。


当压缩空气中的湿度控制不到位时,问题可能迅速显现——管道腐蚀、设备结冰、过滤器性能下降,甚至导致产品污染与质量缺陷。在一些对环境要求更高的行业,如电子、制药或食品领域,这些风险更是不可接受。


那么,如何真正掌控压缩空气中的湿度?答案在于一个关键指标:露点。


在本次研讨会中,维萨拉专家将结合实际应用经验,系统讲解压缩空气中露点测量的关键原理与实践方法,帮助您从“理解问题”走向“解决问题”。

演讲人:卢金章-维萨拉工业测量部应用经理

会议议程

基础理论——掌握压缩空气中湿度与露点的核心概念,以及它们为何至关重要。

风险与收益——了解缺乏露点监测所带来的常见问题,以及实现受控干燥所带来的优势。

解决方案与技术——介绍可用的测量仪器、采样注意事项,以及如何选择合适的测量方案。

应用与案例——来自不同行业与系统类型的实际应用示例。

公司简介

维萨拉提供测量仪器和智能化应用,我们是应对气候变化的积极探索者和行动者。我们提供可靠的测量设备和数据,助力客户提高资源利用效率,并推动能源转型,同时也致力于保障大众的安全以及提升社会福祉,让世界变得更美好。我们拥有近 90 年创新和专业知识的深厚积淀,更拥有一支超过 2,300 名专业人员组成的精英团队,我们尽心竭力保护地球家园。维萨拉 A 股股票在纳斯达克赫尔辛基证券交易所上市。


  1. 2026/4/14
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兰宝电容式传感器

上海兰宝传感供应电容式接近传感器,产品型号丰富/塑料金属外壳/液位料位检测稳定,适用于多种工业、畜牧业等场景。

  1. 2026/3/12
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兰宝电感式传感器

上海兰宝传感供应电感式接近传感器,产品型号丰富/测距远/检测稳定,适用于多种工业自动化等场景。

  1. 2026/3/12
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兰宝激光测距位移传感器

上海兰宝传感供应高精度激光测距位移传感器,产品精度高/测距远/检测稳定,适用于多种工业自动化、物流仓储等场景。

  1. 2026/3/12
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兰宝微型光电传感器

上海兰宝传感供应对射微型光电传感器,产品体积小/精度高/测距多样/检测稳定,适用于多种工业自动化场景。

  1. 2026/3/12
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兰宝槽型光电传感器

上海兰宝传感供应对射型槽型光电传感器,产品U型外观/精度高/检测稳定,适用于多种工业自动化场景。

  1. 2026/3/12
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兰宝光电传感器

上海兰宝传感供应对射/反射/漫反射/背景抑制/偏振反射型光电传感器,产品精度高/测距多样/检测稳定,适用于多种工业自动化场景。

  1. 2026/3/12
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町洋企业宣传片

町洋在地耕耘多年、深植台湾,以坚实基础守护每一次能量的传递。全流程自主掌握,成就一站式整合服务。我们以自动化产线,稳定支援多元化要求与产业变动,构建全方位动能,树立智造标杆,弹性高效、及时反应,是町洋与生俱来的企业韧性。


  1. 2026/3/2
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运控新境界·品质新高度——松下GM5运动控制器为您的产线升级保驾护航

在智能制造加速发展的今天,产线对运动控制的稳定性、可靠性和开发效率提出了更高要求。松下全新GM5运动控制器应运而生,以卓越品质开启运控新境界!本次讲座将介绍GM5如何通过标准化开发,摆脱定制化编程困扰,提升工程效率与技术传承;如何从传统PLC迈向智能运动控制,实现性能飞跃;并展示其在实际应用中如何以高稳定性和高可靠性,解决杂牌控制器带来的运维难题。诚邀您参与,了解GM5如何为您的产线升级保驾护航,助力制造品质迈上新台阶!

演讲人:李庭弼

资深产品应用高级工程师/PLC和运动控制器的专项培训高级讲师

深耕自动化行业30年,主要从事可编程控制器及相关产品的开发,市场推广、用户应用支持和技术培训

刘斯纬:系统解决方案高级工程师

拥有15年自动化领域从业经验,负责运动控制器及相关系统方案的开发应用工作


会议议程

产品核心优势


1、GM5产品阵列,商品概述,系统构成


2、GM5产品特点


三大亮点介绍


1、追剪飞剪


2、振动抑制


3、张力控制


  1. 2026/2/3
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