PGS-ZTPR系列

雅科贝思PGS-ZTPR晶圆平台采用高精度光栅尺与无铁芯直线电机，具备高刚性与高稳定性，可实现纳米级定位精度，能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求。

禹衡光学JFT系列绝对式光栅尺

敞开式直线光栅尺广泛应用于半导体设备、自动贴片机和测量机，以及所有需要极高测量精度的应用。高质量扫描信号不容或缺。为此，海德汉推出HSP 1.0全新信号处理ASIC芯片，欢迎观看演示。平行排列两套测量基准。直线光栅尺读数头的滑座在测量基准上运动。LIP 6000只用作准确的参考基准。两个LIDA 48读数头并排安装在顶部的光栅尺带上，检查测量值。在比较测量中，滑座在整个测量基准上运动。同时，两个LIDA读数头都在顶部光栅尺上遇到典型的污染情况：

一条短气泡带

一段丝线

指印

一滴环氧树脂胶

当LIDA读数头移过光栅尺时，信号幅值和位置值与LIP 6000参考基准的记录值和显示值不同。只需简单比较，也能发现配HSP 1.0的LIDA读数头的信号明显比较光滑。线性误差补偿后，可以直接比较测量结果，使用HSP 1.0后，波峰间的信号幅值几乎稳定在1伏，实际上减少位置误差达一半。可以说，海德汉编码器提供稳定的扫描信号，无需对其信号进行稳定处理。尽管如此，测量基准或扫描掩膜的污染影响这些扫描信号。HSP 1.0信号处理ASIC芯片特别有效地降低污染的影响。确保持续稳定的测量信号几乎不受噪音或细分误差的因素。可靠性、精度和功能性不受污染影响，依然保持高水平。

大长度绝对式光栅尺LC200系列适用于长轴类机床的直线轴应用，以其高精度，大测量长度和优化外壳结构等诸多优势的进入市场。现又引入了如下新的设计，更加方便了使用者的安装及后续维护。

●　穿入刻线钢带时，无需移除拉伸机构和紧固元件，降低安装的工作量及用时；●　通过新设计的辅助机构可方便将读数头导入尺壳，减少因误操作带来的损坏；●　导轨钢带的收纳盒可重复利用，并且提高回收钢带的方便性，利于后续的维护操作。

大长度绝对式光栅尺LC200系列适用于长轴类机床的直线轴应用，以其高精度，大测量长度和优化外壳结构等诸多优势的进入市场。现又引入了如下新的设计，更加方便了使用者的安装及后续维护。

●　穿入刻线钢带时，无需移除拉伸机构和紧固元件，降低安装的工作量及用时；●　通过新设计的辅助机构可方便将读数头导入尺壳，减少因误操作带来的损坏；●　导轨钢带的收纳盒可重复利用，并且提高回收钢带的方便性，利于后续的维护操作。

大长度绝对式光栅尺LC200系列适用于长轴类机床的直线轴应用，以其高精度，大测量长度和优化外壳结构等诸多优势的进入市场。现又引入了如下新的设计，更加方便了使用者的安装及后续维护。

●　穿入刻线钢带时，无需移除拉伸机构和紧固元件，降低安装的工作量及用时；●　通过新设计的辅助机构可方便将读数头导入尺壳，减少因误操作带来的损坏；●　导轨钢带的收纳盒可重复利用，并且提高回收钢带的方便性，利于后续的维护操作。