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维萨拉半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

在半导体制造过程中，“干燥”从来不是一个简单的环境条件，而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试，哪怕是极其微量的水分变化，都可能引发一系列问题：测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。

然而，在实际应用中，企业仍然面临诸多挑战：气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身，都可能让露点测量变得“不再可靠”。

在超干燥环境下，露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如，在-80°C露点条件下，气体中的水分含量仅为约0.5ppmv，相比普通办公室空气，干燥程度高出数万倍。

在这样的环境中：测量误差不再只是“数值偏差”，而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中，若露点控制不当，测试腔体极易产生结霜，进而影响测试准确性与设备稳定性。

会议议程

极端干燥条件下露点测量的核心原理

半导体气体系统中的典型挑战

晶圆测试中的露点控制关键点

如何通过优化测量方式提升数据可靠性

快速响应技术在实际应用中的价值

2026/4/28
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维萨拉压缩空气中的露点测量

在工业生产中，压缩空气被广泛应用于各类关键环节，从自动化控制到产品制造，它几乎无处不在。然而，一个常被忽视的问题是：空气中的水分，往往是影响系统稳定性与产品质量的隐形风险。

当压缩空气中的湿度控制不到位时，问题可能迅速显现——管道腐蚀、设备结冰、过滤器性能下降，甚至导致产品污染与质量缺陷。在一些对环境要求更高的行业，如电子、制药或食品领域，这些风险更是不可接受。

那么，如何真正掌控压缩空气中的湿度？答案在于一个关键指标：露点。

在本次研讨会中，维萨拉专家将结合实际应用经验，系统讲解压缩空气中露点测量的关键原理与实践方法，帮助您从“理解问题”走向“解决问题”。

演讲人:卢金章-维萨拉工业测量部应用经理

会议议程

基础理论——掌握压缩空气中湿度与露点的核心概念，以及它们为何至关重要。

风险与收益——了解缺乏露点监测所带来的常见问题，以及实现受控干燥所带来的优势。

解决方案与技术——介绍可用的测量仪器、采样注意事项，以及如何选择合适的测量方案。

应用与案例——来自不同行业与系统类型的实际应用示例。

公司简介

维萨拉提供测量仪器和智能化应用，我们是应对气候变化的积极探索者和行动者。我们提供可靠的测量设备和数据，助力客户提高资源利用效率，并推动能源转型，同时也致力于保障大众的安全以及提升社会福祉，让世界变得更美好。我们拥有近 90 年创新和专业知识的深厚积淀，更拥有一支超过 2,300 名专业人员组成的精英团队，我们尽心竭力保护地球家园。维萨拉 A 股股票在纳斯达克赫尔辛基证券交易所上市。