PGS-ZTPR系列
雅科贝思PGS-ZTPR晶圆平台采用高精度光栅尺与无铁芯直线电机，具备高刚性与高稳定性，可实现纳米级定位精度，能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求。
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