雅科贝思超高晶圆陶瓷气浮平台

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雅科贝思超高晶圆陶瓷气浮平台

来源：雅科贝思精密机电(上海)有限公司
时间：2025-01-08
视频介绍

X、Y轴行程分别可达600、550毫米，整体采用全气浮高刚性结构，气浮式导轨几乎可以忽略摩擦力的影响，实现近于零摩擦的润滑，故能实现超精密定位。

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