AKM系列有铁芯直线电机，推力大，结构紧凑，水冷效果好，适应于对马达推力要求较高的应用。AKM-A系列有铁芯电机体积小、推力大、响应快，水冷设计，多种尺寸可选，适用于各种对速度、精度、响应性有严格要求的场合。

PGS-ZTPR系列雅科贝思PGS-ZTPR晶圆平台采用高精度光栅尺与无铁芯直线电机，具备高刚性与高稳定性，可实现纳米级定位精度，能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求。

雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。具体产品请查看https://mp.weixin.qq.com/s/FA_YOLfk69e1ccrCWH69vw详情请致电联系021-58595800

产品特性·用于分选和力控的解决方案;·采用直驱技术，无背隙;·有效力控范围在0-100N;·气浮力控模组阻力小，响应时间短，响应快;·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈，集合了直线电机和伺服电机各自的优点;·自行研发的Agito的驱动器，可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下，实现开环的力控。详情请致电联系021-58595800

雅科贝思携多款针对半导体行业定制化研发的明星产品及解决方案重磅参展，全面覆盖半导体晶圆处理、先进封装、芯片分选、真空环境、精密检测等核心场景，完美适配AI算力驱动下的高端半导体制造需求，成为展会现场备受关注的核心展商之一。

飞马座运动平台，实现半导体检测的高精、高速、高稳定！ 毫秒级整定、亚微米级精度、纳米级静态抖动！

上海慕尼黑光博会必看! 雅科贝思振镜与平台联动激光加工系统大揭秘!

采用3+2经典设计，极大的提高了整体的刚度。配置减振系统，不仅能提高静态性能，还极大的提高了运动平台的动态性能，从而提高客户产品的质量和产率。

X、Y轴行程分别可达600、550毫米，整体采用全气浮高刚性结构，气浮式导轨几乎可以忽略摩擦力的影响，实现近于零摩擦的润滑，故能实现超精密定位。